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[웨비나]플라즈마 장비의 매칭회로 해석 (2021-06-03)
emagtech 2021-05-13
     조회 : 49


3D EM 해석 기술을 완전히 새로운 차원으로 끌어올려 줄 팁과 워크플로우를 배워 보세요.

 

급격히 발전하는 공정 장비기술에 신속히 대처하기 위해서 개발단계에서부터 플라즈마 장비의 성능을 예측하고 분석하여 개발시간과 비용의 절감은 물론 장비의 성능을 극대화할 수 있는 도구가 필요합니다.  SIMULIA CST Studio Suite은 전자기장 솔루션 패키지로써 반도체 및 디스플레이 장비에 대한 설계 및 분석을 효율적으로 진행할 수 있습니다.

 

이번 웨비나에서는 공정장비의 Impedance RF Generator의 출력 Impedance와 같아지도록 정합하여 최대 효율로 전력을 공급할 수 있도록 매칭 회로에 대한 전자기장 및 발열해석 사례를 소개합니다.

 

관심있으신 많은 분들의 참여를 부탁드립니다.

 

Agenda :

-  Matching Network 소개

-  Matching Network Circuit 구성 및 해석

-  Matching Network 3D EM + Circuit 연계 해석

Circuit 소자와 3D 구조 해석 결과 값 비교

Matching Network 3D EM + 발열 연계 해석

결론

Q&A


일자 및 시간 2021-06-03, PM14:00~15:00

 


웨비나 상세내역 | 웨비나 종료



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